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透射电子显微镜TEM的原理、参数及应用
发布日期:2021-09-24 14:11   来源:未知   阅读:

  ) 具有较高的分辨率是半导体失效分析领域最常用的仪器之一,其以高能电子束作为光源,用电磁场作透镜,将经过加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子和样品中的原子因碰撞改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。TEM的一个突出优点是具有较高的分辨率,可观测极薄薄膜的形貌及尺寸。

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